薄膜厚度测量仪

          薄膜厚度测量仪

产品用途

硅、透明或半透明材料之薄膜厚度测量。

• 超高精度（亚纳米级分辨率与重复性）
• 多层测量（可测10层）
• 可离线/在线检测(可提供SDK)
• 膜厚测量范围
• 可见光版：10nm~100μm
• 近红外版：10μm ~1mm

行业应用

半导体制造

⚫ 光刻胶
⚫ 氧化物
⚫ 硅或其它半导体涂层

MEMS微机电系统

⚫ 光刻胶
⚫ 硅膜
⚫ 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜

LCD显示

⚫ 盒厚
⚫ 聚酰亞胺
⚫ ITO导电透明膜

生物医学元件

⚫ 聚合物
⚫ 生物膜
⚫ 植入药物涂层

应用案例

汽车玻璃间隙在线测试

⚫玻璃叠加后间隙在线测试，开发SDK配合在线测试
⚫应用客户：FY

产品原理

不同波长的光波穿透被测膜层时，上下表面反射光形成干涉，并产生相位差，通过分析多层薄膜干涉后的光谱分布，实现膜厚测量。

产品规格

*1：N=1.5
*2：1倍RMS

软件界面