白光干涉传感器

         白光干涉传感器

产品用途

被测物体表面之逐层扫描测量，生成亚纳米级精度的3D多层形貌，以实现微观3D形貌、2D轮廓与尺寸、2D&3D表面粗糙度等检测。

• 超高精度（亚纳米级分辨率与重复性）
• 产品表面高度光滑及中等粗糙表面之3D微观测量
• 切换不同物镜倍率，得到数百微米之间的不同视野范围
• 可提供白光干涉测头及SDK，可根据用户需求定制开发算法模块，实现产线自动化在线测量测。

行业应用

广泛应用于各种器件的微观3D形貌测量：

⚫ 先进制造业

⚫ 航空航天与汽车行业

⚫ 3C电子产品
⚫ 精密加工
⚫ 光学器材
⚫ 国防与安全
⚫ 考古学与古生物学
⚫ 医疗产品

应用案例：

A客户手机外框喷砂制程凹坑之自动化测量。

⚫ 喷砂后手机外框有微观凹坑，影响阳极后表面闪烁度，开发专用测头及SDK，配合批量在线测试
⚫ 应用客户：FXN

产品原理

利用白光光源短相干特性，结合纵向扫描获取携带物体高度信息的干涉光强分布，通过判断扫描极值点重构高度信息，点对点实现视场范围内所有点的三维形貌重构。

产品规格

尺寸图