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SAK光谱共焦传感器
SAK光谱共焦传感器
GP- 20- D2 GP- 40- D4 GP- 60-
产品描述
产品参数
产品规格
产品尺寸
型号
SAK光谱共焦传感器
双通道控制器
---透明及多层材料，镜面之位移厚度解决方案
---非接触精准量测各种材质
非接触/高精度/高性价比
SAK彩色光谱共焦传感器是一种精度可达次微纳米量级的非接触式位移量测系统， 可精准测量漫反射/镜面反射及透明多层材质的位移,厚度,也适合深孔/盲孔工件等运用。
原理
利用特制的彩色编码镜头使可见光产生轴向色散输出，并经由光谱解析器解析共焦回传光波讯号，最后透过波长与位移转换曲线计算出工件位移量测值。
光谱共焦优于传统测试
测头规格参数
|
传感测头 |
GP-20-D2 |
GP-40-D4 |
GP-60-D6 |
|
工作距离 |
18[mm] |
30[mm] |
55[mm] |
|
量程 |
±1[mm] |
±2[mm] |
±3[mm] |
|
分辨率*1 |
0.05[μm] |
0.07[μm] |
0.1[μm] |
|
线性度*2 |
±0.3[μm] |
±0.45[μm] |
±0.65[μm] |
|
光点直径*3 |
25[μm] |
9[μm] |
45[μm] |
|
最大倾角*4 |
±22° |
±15° |
±11° |
|
测头尺寸(ΦxL) |
Φ34x75[mm] |
Φ38x82[mm] |
Φ33x75[mm] |
|
测头重量 |
105[g] |
145[g] |
122[g] |
|
防护等级 |
IP40 |
IP40 |
IP40 |
|
外形图片 |
|
|
|
|
主要特点及应用 |
工作距离、体积角度适中； 通用型号， 适合多种常规段差、厚度及形貌检测 |
小光斑，长工作距， 体积角度适中； 通用型号， 主要用于镜面、硅片、玻璃、金属、瓷器等平面度、轮廓 测量 |
工作距离、体积角度适中；
通用型号， 适合多种常规段差、厚度及形貌检测 |
|
传感测头 |
CGP-A-80-D8 |
CGP-A-2-D02 |
GP-A-20-D2 |
|
工作距离 |
40[mm] |
8[mm] |
16[mm] |
|
量程 |
±4[mm] |
±0.2[mm] |
±1[mm] |
|
分辨率*1 |
0.12[μm] |
0.02[μm] |
0.05[μm] |
|
线性度*2 |
±0.5[μm] |
±0.15[μm] |
±0.35[μm] |
|
光点直径*3 |
40[μm] |
2[μm] |
8[μm] |
|
最大倾角*4 |
±15° |
±40° |
±30° |
|
测头尺寸(ΦxL) |
Φ54x117[mm] |
Φ41x99[mm] |
Φ41x159[mm] |
|
测头重量 |
380[g] |
220[g] |
360[g] |
|
防护等级 |
IP40 |
IP40 |
IP40 |
|
外形图片 |
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|
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大量程，长工作距； |
小光斑，高分辨率；
主要用于银浆、硅片、锂电极片、触控模组以及薄膜膜厚测量等应用 |
小光斑，大角度； |
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主要特点及应用 |
主要用于玻璃、陶瓷、金属等大段差、深孔形貌特征之测量 |
主要用于3D玻璃、陶瓷后盖、中框、倒角点胶工艺的段差、轮廓、间隙等测量 |
|
传感测头 |
GP-B-11-D1.2 |
GP-B-72-D10 |
GP-B-4-D06 |
|
工作距离 |
11[mm] |
72[mm] |
4 [mm] |
|
量程 |
±1.2[mm] |
±5[mm] |
±0.6[mm] |
|
分辨率*1 |
0.05[μm] |
0.1[μm] |
0.03[μm] |
|
线性度*2 |
±0.45[μm] |
±0.75[μm] |
±0.15[μm] |
|
光点直径*3 |
16[μm] |
9[μm] |
17[μm] |
|
最大倾角*4 |
±60° |
±12° |
±13° |
|
测头尺寸(ΦxL) |
Φ98x266[mm] |
Φ44x59.46[mm] |
Φ8x59.44[mm] |
|
测头重量 |
3250[g] |
126[g] |
24[g] |
|
防护等级 |
IP40 |
IP40 |
IP40 |
|
外形图片 |
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超大角度； |
大量程，长工作距； |
小体积，短工作距； |
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主要特点及应用 |
主要用于3D玻璃、陶瓷后盖、摄像头孔点胶工艺等 大弧面轮廓、弧高及间隙 |
主要用于玻璃、陶瓷、金属等大段差、深孔形貌特征之测量 |
主要用于安装空间有限且需要并列安装多个测头的测量 领域 |
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|
测量 |
|
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控制器 |
GP-ACON-H(带模拟输出及编码器输入)/GP-ACON-D(双通道版) |
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光源 |
白色LED |
|
控制器尺寸(LxWxH) |
140x120x122[mm] |
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控制器重量 |
1.32[kg] |
|
额定电压 |
24[VDC] |
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外部通讯接口 |
RS-232:115200bps[Max] Ethernet:100BASE-TX/10BASE-T |
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防护等级 |
IP20 |
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采样频率 |
4KHz[Max],可定制30KHZ |
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IO功能 |
触发输入 |
|
操作温度 |
5～40[℃] |
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环境湿度 |
35～80[%] |
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环境照度 |
<10.000[Ix] |
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夹置具 |
可客制化 |
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光纤延长线 |
GP-F |
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长度 |
5/10[m] |
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重量 |
40/69[g] |
|
最小折弯半径*5 |
50[mm] |
*l. 分辨率：针对静止工件于量程中心零点平均10次之噪声大小程度（开启光强自动调节及256次平均功能）
*2. 线性度：针对镜面标准于校准后进行满量程量测时之最大误差值（开启光强自动调节及256次平均功能）
*3. 光点直径： 量程中心之理论光斑直径值
*4. 最大倾角： 指镜面全反射材质工件下之最大可接收光讯号角度， 一般漫反射工件可达80°
*5. 最小折弯半径： 光纤卷曲收纳时可接受之最小曲率半径， 低于此值易于折断毁损
行业应用
3C行业
半导体/液晶面板行业
新能源行业
汽车部件
其它
优势及特点
稳定量测各类材质，例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等。
适用于各种形貌（包含深孔/斜面/弧面）之特征尺寸量测，
例如高度/段差/厚度/平面度/轮廓度等。
高温高压等严苛操作条件下亦能适应正常使用。
测头结构轻巧，易整合于各行业之自动化测量应用。
结构轻巧且内部不含电子零件而不受环境干扰影响。
独特多层材质量测算法,可量测透明／半透明多层材质间之厚度或间隙。
彩色共焦位移传感器选型方法
选型步骤
1.首先确定测头工作量程，然后确定样品到测头前端的工作距离，然后考虑合适的光斑大小和最大倾角；
2.控制器选型时首先看工作频率，然后再考虑是否需要编码器触发，最后考虑是否需要多通道。
选型技巧
- 曲度较大镜面：优先考虑大角度镜头；
- 粗糙表面：优先选择角度大、光斑小的镜头；
- 横向分辨率要求较高：如测量微小缝隙沟槽、寻边、测量弧高时，优先选择角度大，光斑小的测头；
- 材料测厚：不透明材料或精度要求较高的透明材料，建议使用双测头对射测量；
- 平整度及透明度高且精度要求相对不高的透明材料：单测头测厚；
- 大段差：优先选择大量程测头；
- 透明镀膜膜厚测量：膜厚需大于测头量程的1/20；
- 多通道并列测量：优先选择小直径测头；
- 轮廓度测量：优先选择带编码器的控制器；
- 多点测量：速度要求不高时，可考虑一拖多控制器提升经济性；
- 实时性输出要求较高：可考虑带模拟量输出控制器。
控制器尺寸图 单位mm
探头尺寸图 单位mm
关键词:
SAK光谱共焦传感器
光谱共焦位移测量仪
薄膜厚度测试仪
多层透明材质测量仪
光谱共焦传感器
厚度测量仪
上一个
无
下一个
半导体（硅片）测厚仪
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